分析误差一般由测量精度、化学分析值与标准样品认证值的偏差来表征。因此，应对精度和偏差进行控制并维持在一定范围内。
1 测量精密度的监控
1.1 短期精密度
仪器的短期精密度通常用标准偏差来表示，也可用极差来表示。对同一均匀样品连续测量10次，计算10次测量结果的标准偏差或极差。仪器的短期精密度应满足检测标准要求，10次独立测量结果的标准偏差应不大于检测标准中规定的重复性限r的0.52倍，10次独立测量结果的极差应不大于检测标准中规定的重复性限r的1.6倍。
注：方法的重复性限r是2次独立测量结果的临界极差，r = 2.8σr，其中σr为重复性标准差。
根据以极差估算标准偏差的为下式（1）：
s =（xmax-xmin）/ d2 （1）
式中：
s ——n次独立测量结果的标准偏差；
d2 ——与测量次数n相关的极差系数；
xmax-xmin ——n次独立测量结果的极差。
当n=10时，d2=3.078，则s = 0.325（xmax-xmin）。根据gb/t6379.6-2009中表1所列数据，2次独立测量结果的临界极差为r = 2.8σr，10次独立测量结果的临界极差为4.5σr，则10次独立测量结果的临界极差为r的1.6倍。而10次独立测量结果的极差应不大于10次独立测量结果的临界极差，即xmax-xmin ≤ 1.6r，因此，s ≤ 0.52r。
r值在不同种类的合金中确定方法不完全一样。gnr工程师已经将gbt4336碳素钢和中低合金钢每种元素的r的计算方法编辑成exe程序共享给大家，有需要的可以到百度网盘中下载。后续gnr工程师还会陆续共享不锈钢、铸铁、铝及铝合金、黄铜等相关软件。
提取码：lwmr
一般认为，影响仪器短期精密度的主要原因是测量条件的瞬时变化。因此，特别要对下列事项采取必要的措施：
a）所分析样品的均匀性和样品污染；
b）电源的波动（电压，频率等）；
c）分析条件的变化（电极位置、分析间隙、试样表面光洁度、对电极的形状和气体流量等）；
d）仪器参数设置或性能下降。
1.2 长期精密度
仪器长期精密度是表征仪器长期稳定性的重要指标。在一次标准化后，对同一均匀样品每隔30min测量1次，每次测量取3个测量结果的平均值，在4h内重复9次测量。计算9个测量平均值的相对标准偏差rsd。
可能影响长期精密度的因素如下（包含但不限于）：
a）仪器光学系统设计；
b）对电极形状的变化；
c）光学系统的污染；
d）室温变化；
e）仪器调整不当；
f）断续操作造成的偏差。
2 分析结果的监控
判断光谱测量结果是否发生偏差，可在完成标准化后，选用一定数量的标准样品对校准曲线进行确认。所用标准样品应尽可能涵盖被测元素的高、低含量段，2次测量结果之差应不大于该方法规定的重复性限r。标准样品测量结果平均值x与认证值μ0之差的绝对值应不大于gb/t6379.6中规定的临界差cd0.95的值。否则，应检查原因，并重新进行标准化。
在测量过程中，应定期采用测量标准样品的方法对测量结果进行确认；当仪器闲置1h以上再做测量时，也要对测量结果进行确认。如果测量结果与标准样品的认证值不一致，应重新进行标准化。
注：在95%的概率水平下，n次测量结果平均值与认证值之差|x-μ0|的临界差按下式（2）计算：
cd0.952=1/2*（r2-（n-1）r2/n） （2）
式中：
r ——重复性限；
r ——再现性限。
当标准样品的不确定度不可忽略时，|x-μ0|的临界值c则按下式（3）计算：
c2=cd0.952 u2 （3）
式中：
u ——标准样品的扩展不确定度。
分析结果的监控也可按统计过程控制（spc）的要求进行。